金融界2024年9月26日音讯，国家知识产权局信息数据显现，南京中安半导体设备有限责任公司获得一项名为“气浮卡盘及晶圆几许参数丈量设备”的专利，授权公告号CN 113130368 B，请求日期为2021年4月。
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